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제품소개 - 용도별

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반도체 및 디스플레이용 세라믹

(Ceramics for Semi-conductor and Display)

– 알루미나, 탄화규소, 쿼츠, 질화알루미늄, 이트리아 등을 사용하여 식각 장비의 내부 소재, 확산로의 고온 내구 소재를 제작
– 공정 특성에 따라 소재 선택
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내플라즈마용 세라믹

(Anti-plasma Ceramics)

– 반도체 및 디스플레이 산업의 건식 식각 설비 및 CVD 장비를 위한 내화학성/내플라즈마용 부품 제작에 활용
– 불화수소를 포함한 에칭가스(etching gas)에 대해 강력한 내화학성을 지니기 때문에 설비의 내구성을 향상시키고 particle로 인한 제품 불량률을 감소시킴
– 에처 부품 중 내플라즈마성을 요구하는 focus ring, dome, showerhead 등에 활용

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내마모용 세라믹스

(Abrasion-resistant Ceramics)

알루미나, 지르코니아, 강화 알루미나, 탄화규소, 질화규소 등을 사용하여 펌프용 부품, 제지 기계용 부품, 섬유 기계용 부품, bead mill용 부품, x-y stage table, nozzle 등을 제작

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내열용 세라믹스

(Heat resistance Ceramics)

– 알루미나, 코디어라이트, 지르코니아, 탄화규소, 질화규소 등을 활용하여 버너헤드 및 노즐, 도가니, 용접 cup 등을 제작

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절연용 세라믹스

(Electricity-insulating Ceramics)

  • 주로 산화물로 이루어진 세라믹은 일반적으로전기가 통하지 않는 특성을 지님
  • 가정용 전기 차단기에서부터 첨단 전자 기기에 이르기까지 전기 및 전자산업에서 우수한 절연재로서 세라믹의 사용은 필수적임
  • 전기회로에서 절연성 세라믹은 전도체나 반도체의 물리적 · 전기적 분리뿐만 아니라, 부수적으로 전도체나 반도체의 기계적 강도 유지 및 보강, 열 방출 및 차단, 부식성 환경으로부터의 전자회로 보호 등의 기능을 행함

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내화학용 세라믹스

(Chemical-resistant Ceramics)

  • 금속 대비 탁월한 화학적 안정성 및 내마모성에 착안하여 산성 및 알칼리성 약품, 그리고 부식성 유체, 고온 유체, 마모성 유체를 다루는 유체 및 화학 기계 부분에 활용 
  • 알루미나, 탄화규소, 질화규소계 세라믹을 적용하여 내산 펌프 및 내알칼리 펌프 등의 화학펌프, 고압펌프, metering 펌프, 용융 금속 펌프 및 수중 펌프 등의 특수 목적 펌프, 유량계 및 교반기 등의 화학 기계, 매카니컬 씰, 베어링, shaft 등 제작 가능

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전기전도용 세라믹

(Electric Conductive Ceramics)

  • 세라믹의 우수한 기계적 물성을 유지하면서 전기 전도성을 부여한 특수 세라믹 소재
  • 세라믹 전극 등 특수한 환경 하에서 사용 가능

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저반사율 세라믹

(Low-reflective Ceramics)

  • 광반사 방지 부재료로서 반도체 및 디스플레이, 특히 LCD, OLED 노광기용 저반사율 세라믹 제작 가능

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