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제품소개 - 용도별
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반도체 및 디스플레이용 세라믹
(Ceramics for Semi-conductor and Display)
– 알루미나, 탄화규소, 쿼츠, 질화알루미늄, 이트리아 등을 사용하여 식각 장비의 내부 소재, 확산로의 고온 내구 소재를 제작
– 공정 특성에 따라 소재 선택
| 재료 | 용도 |
| 쿼츠(SiO2) | 확산로, CVD 내부 부품, 용기 |
| 알루미나(Al2O3) | 내플라즈마 에처, CVD 내부 부품, ESC 척 내부 부품 |
| 탄화규소(SiC) | 확산로, CVD 내부 부품, 용기 |
| 질화알루미늄(AlN) | ESC 척, 히터 |
| 이트리아(Y2O3) | 내플라즈마 에처 부품 |
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내플라즈마용 세라믹
(Anti-plasma Ceramics)
– 반도체 및 디스플레이 산업의 건식 식각 설비 및 CVD 장비를 위한 내화학성/내플라즈마용 부품 제작에 활용
– 불화수소를 포함한 에칭가스(etching gas)에 대해 강력한 내화학성을 지니기 때문에 설비의 내구성을 향상시키고 particle로 인한 제품 불량률을 감소시킴
– 에처 부품 중 내플라즈마성을 요구하는 focus ring, dome, showerhead 등에 활용
| 품명 | 밀도(g/cm3) | Etch rate(cm/min) | 굽힘강도(MPa) |
| 알루미나(Al2O3) | 3.9 | 1.3×10-6 | 360 |
| MAPC-Y | 4.4 | 7.3×10-7 | 370 |
| MAPC-Z | 4.2 | 1.5×10-5 | 600 |
| 이트리아(Y2O3) | 4.9 | 5.0×10-8 | 130 |
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내마모용 세라믹스
(Abrasion-resistant Ceramics)
알루미나, 지르코니아, 강화 알루미나, 탄화규소, 질화규소 등을 사용하여 펌프용 부품, 제지 기계용 부품, 섬유 기계용 부품, bead mill용 부품, x-y stage table, nozzle 등을 제작
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내열용 세라믹스
(Heat resistance Ceramics)
– 알루미나, 코디어라이트, 지르코니아, 탄화규소, 질화규소 등을 활용하여 버너헤드 및 노즐, 도가니, 용접 cup 등을 제작
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절연용 세라믹스
(Electricity-insulating Ceramics)
- 주로 산화물로 이루어진 세라믹은 일반적으로전기가 통하지 않는 특성을 지님
- 가정용 전기 차단기에서부터 첨단 전자 기기에 이르기까지 전기 및 전자산업에서 우수한 절연재로서 세라믹의 사용은 필수적임
- 전기회로에서 절연성 세라믹은 전도체나 반도체의 물리적 · 전기적 분리뿐만 아니라, 부수적으로 전도체나 반도체의 기계적 강도 유지 및 보강, 열 방출 및 차단, 부식성 환경으로부터의 전자회로 보호 등의 기능을 행함
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내화학용 세라믹스
(Chemical-resistant Ceramics)
- 금속 대비 탁월한 화학적 안정성 및 내마모성에 착안하여 산성 및 알칼리성 약품, 그리고 부식성 유체, 고온 유체, 마모성 유체를 다루는 유체 및 화학 기계 부분에 활용
- 알루미나, 탄화규소, 질화규소계 세라믹을 적용하여 내산 펌프 및 내알칼리 펌프 등의 화학펌프, 고압펌프, metering 펌프, 용융 금속 펌프 및 수중 펌프 등의 특수 목적 펌프, 유량계 및 교반기 등의 화학 기계, 매카니컬 씰, 베어링, shaft 등 제작 가능
| 재료 | Al2O3 | MgO | ZrO2 | TiO2 | SiO2 | SiC | BN | TiN |
| 산성의 액체 및 기체 | 우수 | 부적합 | 우수 | 우수 | 우수 | 우수 | 사용 가능 | 사용 가능 |
| 알칼리성의 액체 및 기체 | 양호 | 우수 | 우수 | 부적합 | 부적합 | 사용 가능 | 우수 | 사용 가능 |
| 용융 금속 | 우수 | 우수 | 우수 | 사용 가능 | 사용 가능 | 사용 가능 | 우수 |
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전기전도용 세라믹
(Electric Conductive Ceramics)
- 세라믹의 우수한 기계적 물성을 유지하면서 전기 전도성을 부여한 특수 세라믹 소재
- 세라믹 전극 등 특수한 환경 하에서 사용 가능
| 물성 | 밀도 (g/cm3) | 전기저항 (Ω·cm) | 굽힘강도 (MPa) |
| MCC-G | 3.7 | 104 | 320 |
| MCC-SC | 3.9 | 105 | 400 |
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저반사율 세라믹
(Low-reflective Ceramics)
- 광반사 방지 부재료로서 반도체 및 디스플레이, 특히 LCD, OLED 노광기용 저반사율 세라믹 제작 가능
| 물성 | 스펙 | |
| 반사율 (at 360nm) | SCI | 5.91% |
| SCE | 5.98% | |
| 밀도 | 3.89g/cm2 | |
| 굽힘강도 | 300Mpa | |
| 포아송 비(Poisson’s Ratio) | 0.26 | |
| 영 율(Young’s Modulus) | 334Gpa | |
| 표면 조도 | 1.3㎛ | |
| 편평도 | 0.005mm | |
| 평형도 | 0.01mm | |
| 크기 | 500*1000 |
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과립분말
(Granule)
- Al2O3
| Chemical composition (wt.%) | Powder properties | Granule properties | |||
| LOI (%) | 0.37 | Raw material | Aluminum Oxide (Al2O3) | Binder content(%) | 1.5 |
| Fe₂O₃ | 0.02 | Moisture content (%) | 0.3 | ||
| SiO₂ | 0.02 | D50 (㎛) | 0.5 | D50 (㎛) | 60 |
| Na₂O | 0.06 | Specific surface area (m2/g) | 6.9 | Max size (㎛) | 150 |
| Al₂O₃ | 99.5 | Tap density | 1.3 |
- SiC
| Chemical composition (wt.%) | Typical trace elements (ppm) | ||||
| SiC | 99 | Fe | 50 | Cr | <10 |
| Free SiOC | 0.75 | Al | 250 | Ca | 20 |
| Free Si | 0.05 | Ni | <10 | Ti | 200 |
| Free C | 0.2 | V | 70 | Mg | <100 |
| Total. O | 0.85 | Na | <100 | K | 20 |
| Powder properties | Granule properties | ||
| Raw material | Silicon Carbide (SiC) | Sintering additive | Carbon resin |
| Boron Carbide | |||
| D50 (㎛) | 0.6 | Binder content(%) | 9.5 |
| Moisture content (%) | 0.5 | ||
| Specific surface area (m2/g) | 15 | D50 (㎛) | 100 |
| Max size (㎛) | 250 | ||
| Bulk density (g/cm³) | 0.85 |
- AlN
| Chemical composition (ppm) | Powder properties | Granule properties | |||
| Fe | ≤ 15 | Raw material | Aluminum Nitride (AlN) | Average particle size (㎛) | 100 |
| Purity | ≥ 99.8 | ||||
| Si | ≤ 25 | D10 (㎛) | 0.6 | Bulk density (g/cm3) | 1.06 ± 0.06 |
| D50 (㎛) | 1.4 | ||||
| Ca | ≤ 250 | D90 (㎛) | 3.3 | Flowability (s/50g) | 71 ± 8 |
| Specific surface area (m2/g) | ≥ 2.2 |